量程 (氮氣等效) | 10, 20, 50, 100, 200, 500 (sccm); 1, 5, 10, 50, 100, 200, 500, 800 (slm) |
介質要求 | 潔淨乾燥無腐蝕性氣體 |
測量氣體 | 空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、 甲烷、氬氣等 |
流量表示 | 精度(F.S.) | 1.0% F.S < 50slm 1.5% F.S ≤ 100slm且≥ 50slm 2.0% F.S > 100slm |
重複精度 | ±0.2%F.S.以下 |
解析度 | 0.01 sccm ≤ 100 sccm, 0.1 sccm ≤ 1 slm且>100 sccm, 1 sccm ≤ 5 slm且>1 slm, 0.01slm >5slm |
量程比 | 100:1 |
最大耐壓 | 1.6 MPa |
洩漏率 | 100 Pa 以下(具體量程相關) |
響應時間 | 10 ms |
啟動時間 | 1s 以下 |
使用條件 | 工作溫度 | 0 ~ 50℃(無結冰/無結霜) |
工作濕度 | 10% ~ 90%RH以下 |
工作壓力 | 0 ~ 1 MPa |
儲存溫度 | -20 ~ 85°C(無結冰/無結霜) |
電源规格 | 電壓 | DC 8 ~ 24V |
功耗 | 250mW 以下 |
顯示方式 | 液晶螢幕(刷新率100ms)或上位機 |
通訊接口 | 接口類型 | 7芯航空接頭 |
類比控制 | 4 ~ 20mA |
數位控制 | RS-485 |
通訊輸出 | 接口類型 | 7芯航空接頭 |
通訊速率 | 9600(原廠值), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 (可通過指令或上位機修改) |
通訊協議 | Modbus-RTU |
設備位置 | 1(原廠值) ~ 250 (可通過指令或上位機修改) |
接頭類型 | 不附外接接頭(標準型) ;快插: Ø6, Ø8mm; 卡套: 6mm, 8mm, 1/8", 1/4" , 1/2"; VCR1/4", VCR1/2" |
氣體接觸材質 | 鋁合金、氟橡膠、二氧化矽(硅) |
主體材質 | 底座:航空鋁合金(批量可選316L不銹鋼)外殼:鋁合金 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
重量 | 370 kg ( < 50 slm ) ; 650 kg ( 100, 200 slm ) ; 570 kg (500, 800 slm) |