MFC-FC系列-質量流量控制計器

質量流量控制計器的特色包括：

1.高響應
2.高精度、小體積
3.性價比高
4.重複性高

詳細資料
訂購代號

項目/型號		MFC
量程 (氮氣等效)		10, 20, 50, 100, 200, 500 (sccm); 1, 2, 5, 10, 20 ( slm )
測量氣體		空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氬氣等
流量表示	精度(F.S.)	0.8%F.S. 或 1.0%S.P. 取最大者
	重複精度	±0.2% F.S.以下
	解析度	0.01 sccm ≤ 100 sccm, 0.1 sccm ≤ 1 slm且>100 sccm, 1 sccm ≤ 5 slm且>1 slm, 0.01 slm >5 slm
量程比		100：1
最大耐壓		9.8 bar
洩漏率		1×10-10 Pa m3/s He 以下
響應時間		1s 以下
啟動時間		1s 以下
使用條件	工作溫度	0 ~ 50℃ (無結冰/無結霜)
	工作濕度	10% ~ 90%RH以下
	工作壓力	0.5 ~ 4 bar, > 2 slm 0.5 ~ 6 bar, ≤2 slm (具體量程相關)
	儲存溫度	-20 ~ 85° C (無結冰/無結霜)
電源规格	電壓	DC24V，紋波 ≤ 50 mV
電源规格	功耗	2.7W 以下
通訊接口	接口類型	D-SUB9
	類比控制	0 ~ 5V 或4 ~ 20 mA
	數位控制	RS-485或RS-232
通訊輸出	接口類型	D-SUB9
	通訊速率	9600(原廠值)、14400、19200、38400、56000、57600、115200 (可通過指令或上位機修改)
	通訊協議	Modbus-RTU
	設備位置	1(原廠值) ~ 250 (可通過指令或上位機修改)
接頭類型		不附外接接頭(標準型) ;快插: Ø6, Ø8mm; 卡套: 6mm, 8mm, 1/8", 1/4"; VCR1/4"
氣體接觸材質		316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化矽(硅)
主體材質		底座：316L不銹鋼；外殼：鋁合金
密封材質		FKM氟橡膠
重量		0.9 kg

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已選取

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接頭

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數位輸出

氣體種類

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MFC-C500

質量流量控制計器

FCJ

微型壓力流量計

MFM-C500

質量流量計

FCK

微型流量計

FPHD

數字式分離型流量傳感器 (差壓型)

FPF

壓力流量傳感器

FP

數字式流量傳感器-差壓型

FPX

數字式大型流量傳感器-差壓型

FC

數字式流量傳感器-熱質型

FCD

數字式分離型流量傳感器-熱質型

FPG-U

流量傳感器-模組型

FPZ

大型流量傳感器

MFM-C300

質量流量計

MFM-FC

質量流量計

FPSD

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FPMD

數字式分離型流量傳感器 (差壓型)

MFC-FC

質量流量控制計器

MFC-C300

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FCHD

數字式分離型流量傳感器( 熱質型)

FCMR

數字式調速型流量傳感器( 熱質型)

FCSD

數字式分離型流量傳感器( 熱質型)

FCMD

數字式分離型流量傳感器( 熱質型)

FCSR

數字式調速型流量傳感器( 熱質型)

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FCJ 微型壓力流量計

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FC 數字式流量傳感器-熱質型

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FPG-U 流量傳感器-模組型

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FPSD 數字式分離型流量傳感器 (差壓型)

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MFC-FC 質量流量控制計器

MFC-C300 質量流量控制計器

FPD 數字式分離型流量傳感器 (差壓型)

FCHD 數字式分離型流量傳感器( 熱質型)

FCMR 數字式調速型流量傳感器( 熱質型)

FCSD 數字式分離型流量傳感器( 熱質型)

FCMD 數字式分離型流量傳感器( 熱質型)

FCSR 數字式調速型流量傳感器( 熱質型)

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