MFC-C500系列-質量流量控制計器

質量流量控制計器的特色包括：

1.雙螢幕顯示
2.支援量程調整
3.高響應、高精度

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項目/型號		C500
介質要求		潔淨乾燥無腐蝕性氣體
測量氣體		空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氬氣等
流量表示	精度(F.S.)	±0.3%F.S. (≤30%F.S.) ±1.0%S.P. ( > 30%F.S.)
	重複精度	±0.2% F.S.以下
	解析度	0.001 sccm ≤ 20 sccm, 0.01 sccm ≤ 100 sccm且>20 sccm, 0.1 sccm ≤ 1 slm且>100 sccm, 1 sccm > 1 slm
量程比		100：1
最大耐壓		9.8 bar
洩漏率		1×10-10 Pa m3/s He 以下
響應時間		0.5s以下
啟動時間		1s 以下
使用條件	工作溫度	0 ~ 50℃(無結冰/無結霜)
	工作濕度	10% ~ 90%RH以下
	工作壓力	0.5 ~ 4 bar, > 2 slm 0.5 ~ 6 bar, ≤2 slm (具體量程相關)
	儲存溫度	-20 ~ 85° C(無結冰/無結霜)
電源规格	電壓	DC24V
電源规格	功耗	4.0W 以下
通訊接口	接口類型	D-SUB9, RJ45
	類比控制	0 ~ 5V 或4 ~ 20 mA
	數位控制	RS-485或RS-232
通訊輸出	接口類型	D-SUB9或RJ45
	通訊速率	9600, 38400, 115200(原廠值)
	通訊協議	Modbus-RTU
	設備位置	1(原廠值)~99
接頭類型		不附外接接頭(標準型) ;快插: Ø8mm; 卡套: 6mm, 8mm, 1/8", 1/4"; VCR1/4"
氣體接觸材質		316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化矽(硅)
主體材質		底座：316L不銹鋼；外殼：鋁合金
密封材質		FKM氟橡膠
重量		0.95 kg

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