介質要求 | 潔淨乾燥無腐蝕性氣體 |
測量氣體 | 空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、 甲烷、氬氣等 |
流量表示 | 精度(F.S.) | ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) ±1.0%S.P. ( > 30%F.S.) |
重複精度 | ±0.2% F.S.以下 |
解析度 | 0.001 sccm ≤ 20 sccm, 0.01 sccm ≤ 100 sccm且>20 sccm, 0.1 sccm ≤ 1 slm且>100 sccm, 1 sccm > 1 slm |
量程比 | 100:1 |
最大耐壓 | 9.8 bar |
洩漏率 | 1×10-10 Pa m3/s He 以下 |
響應時間 | 0.5s以下 |
啟動時間 | 1s 以下 |
使用條件 | 工作溫度 | 0 ~ 50℃(無結冰/無結霜) |
工作濕度 | 10% ~ 90%RH以下 |
工作壓力 | 0.5 ~ 4 bar, > 2 slm 0.5 ~ 6 bar, ≤2 slm (具體量程相關) |
儲存溫度 | -20 ~ 85° C(無結冰/無結霜) |
電源规格 | 電壓 | DC24V |
功耗 | 4.0W 以下 |
通訊接口 | 接口類型 | D-SUB9, RJ45 |
類比控制 | 0 ~ 5V 或4 ~ 20 mA |
數位控制 | RS-485或RS-232 |
通訊輸出 | 接口類型 | D-SUB9或RJ45 |
通訊速率 | 9600, 38400, 115200(原廠值) |
通訊協議 | Modbus-RTU |
設備位置 | 1(原廠值)~99 |
接頭類型 | 不附外接接頭(標準型) ;快插: Ø8mm; 卡套: 6mm, 8mm, 1/8", 1/4"; VCR1/4" |
氣體接觸材質 | 316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化矽(硅) |
主體材質 | 底座:316L不銹鋼 ; 外殼:鋁合金 |
密封材質 | FKM氟橡膠 |
重量 | 0.95 kg |