流量大小 L/min | 10, 20, 50, 100, 200, 500 (sccm); 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 (slm) |
介質要求 | 潔淨乾燥無腐蝕性氣體 |
測量氣體 | 空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、 甲烷、氬氣、硅烷、氨氣、一氧化二氮、三氯化硼、氯氣 |
流量表示 | 精度(F.S.) | ±0.3% F.S. (≤30%F.S. ); ±1.0% S.P. ( > 30%F.S. ) |
重複精度 | ±0.2% F.S.以下 |
解析度 | 0.01sccm ≤ 100sccm;1sccm > 100sccm |
量程比 | 50:1 |
最大耐壓 | 10 bar |
洩漏率 | 氟橡膠密封 : 4×10-10 Pa m3/s He 以下;全金屬密封 : 1×10-12 Pa m3/s He 以下 |
響應時間 | 流量計 10ms 以下;控制器 1s 以下 |
啟動時間 | 1s 以下 |
使用條件 | 工作溫度 | 0 ~ 50℃(無結冰/無結霜) |
工作濕度 | 10% ~ 90%RH以下 |
工作壓力 | 流量計 : 10bar;控制器 : 最大6bar (可訂製) |
儲存溫度 | -20 ~ 85° C(無結冰/無結霜) |
電源規格 | 電壓 | DC 24 V (通過側面M8接頭) | DC 24 V (通過頂部DB9M接頭) | DC 24 V (通過側面M8接頭) |
功耗 | 2.7W 以下 |
電器參數 | 頂部接口類型 | RJ45雙網孔(帶指示燈) | DB9M | DB9F |
側面接口類型 | M8 航空接頭 | RJ45雙網孔 (無指示燈 ) | M8 航空接頭 |
顯示螢幕 | 位於頂部 | 無 | 無 |
通訊方式 | EtherCAT | RS-485, 0 ~ 5 V, 4 ~ 20 mV | Profibus DP |
通訊輸出 | Profibus DP | 無 | 無 | 通過頂部DB9F介面; 設備位址為1(預設)~ 255, 可通過頂部旋鈕修改; 最高12M自適應波特率 |
EtherCAT | 透過頂部RJ45介面進行通訊; 設備位址為1(預設) ~ 999, 可透過上位機或指令修改 | 無 | 無 |
RS-485 | 無 | 通過頂部DB9M介面或側面RJ45進行通訊; Modbus-RTU協議、MKS協議可選; 設備位址為1(預設) ~ 99, 通訊速率支援9600, 19200(預設), 38400及其他, 可通過頂部旋鈕修改 | 有 |
類比輸出 | 0 ~ 5 V | 無 | 透過頂部DB9M介面進行通訊(訂購時選擇) | 無 |
4 ~ 20 mA | 無 | 透過頂部DB9M介面進行通訊(訂購時選擇) | 無 |
接頭類型 | 卡套: 1/4", 1/2"; VCR1/4", VCR1/2" |
氣體接觸材質 | 氟矽橡膠密封:316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化矽(硅);全金屬密封:316L不銹鋼 |
主體材質 | 底座:316L不銹鋼 ; 外殼:鋁合金 |
密封材質 | FKM氟橡膠或全金屬 (316L不銹鋼) |
重量 | 流量計 : 0.8kg;控制器: 0.85 ~ 2.8kg |