MFC-C300系列-質量流量控制計器

質量流量控制計器的特色包括:

  • 1.高響應
    2.高精度、小體積
    3.性價比高
    4.重複性高

MFC-C300-質量流量控制計器
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項目/型號C300-EtherCATC300-RS485 C300 - Profibus DP
流量大小 L/min10, 20, 50, 100, 200, 500 (sccm); 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 (slm)
介質要求潔淨乾燥無腐蝕性氣體
測量氣體空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、 甲烷、氬氣、硅烷、氨氣、一氧化二氮、三氯化硼、氯氣
流量表示精度(F.S.)±0.3% F.S. (≤30%F.S. ); ±1.0% S.P. ( > 30%F.S. )
重複精度±0.2% F.S.以下
解析度0.01sccm ≤ 100sccm;1sccm > 100sccm
量程比50:1
最大耐壓10 bar
洩漏率氟橡膠密封 : 4×10-10 Pa m3/s He 以下;全金屬密封 : 1×10-12 Pa m3/s He 以下
響應時間流量計 10ms 以下;控制器 1s 以下
啟動時間1s 以下
使用條件工作溫度0 ~ 50℃(無結冰/無結霜)
工作濕度10% ~ 90%RH以下
工作壓力流量計 : 10bar;控制器 : 最大6bar (可訂製)
儲存溫度-20 ~ 85° C(無結冰/無結霜)
電源規格電壓DC 24 V (通過側面M8接頭) DC 24 V (通過頂部DB9M接頭)DC 24 V (通過側面M8接頭)
功耗2.7W 以下
電器參數頂部接口類型RJ45雙網孔(帶指示燈)DB9M DB9F
側面接口類型M8 航空接頭RJ45雙網孔 (無指示燈 )M8 航空接頭
顯示螢幕位於頂部
通訊方式EtherCATRS-485, 0 ~ 5 V, 4 ~ 20 mVProfibus DP
通訊輸出Profibus DP 通過頂部DB9F介面;
設備位址為1(預設)~ 255,
可通過頂部旋鈕修改;
最高12M自適應波特率
EtherCAT透過頂部RJ45介面進行通訊;
設備位址為1(預設) ~ 999,
可透過上位機或指令修改
RS-485通過頂部DB9M介面或側面RJ45進行通訊;
Modbus-RTU協議、MKS協議可選;
設備位址為1(預設) ~ 99,
通訊速率支援9600, 19200(預設),
38400及其他,
可通過頂部旋鈕修改
類比輸出0 ~ 5 V透過頂部DB9M介面進行通訊(訂購時選擇)
4 ~ 20 mA透過頂部DB9M介面進行通訊(訂購時選擇)
接頭類型卡套: 1/4", 1/2"; VCR1/4", VCR1/2"
氣體接觸材質氟矽橡膠密封:316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化矽(硅);全金屬密封:316L不銹鋼
主體材質底座:316L不銹鋼 ; 外殼:鋁合金
密封材質FKM氟橡膠或全金屬 (316L不銹鋼)
重量流量計 : 0.8kg;控制器: 0.85 ~ 2.8kg
未選取
已選取
型號正確
型號不完整
MFC-C300-質量流量控制計器
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