| 介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
| 测量气体 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、 甲烷、氩气等 |
| 流量表示 | 精度(F.S.) | ±0.3%F.S. (≤30%F.S.) ±1.0%S.P. ( > 30%F.S.) |
| 重複精度 | ±0.2% F.S.以下 |
| 解析度 | 0.001 sccm ≤ 20 sccm, 0.01 sccm ≤ 100 sccm且>20 sccm, 0.1 sccm ≤ 1 slm且>100 sccm, 1 sccm > 1 slm |
| 量程比 | 100:1 |
| 最大耐压 | 9.8 bar |
| 洩漏率 | 1×10-10 Pa m3/s He 以下 |
| 响应时间 | 0.5s以下 |
| 启动时间 | 1s 以下 |
| 使用條件 | 工作溫度 | 0 ~ 50℃(无结冰/无结霜) |
| 工作濕度 | 10% ~ 90%RH以下 |
| 工作壓力 | 0.5 ~ 4 bar, > 2 slm 0.5 ~ 6 bar, ≤2 slm (具體量程相關) |
| 儲存溫度 | -20 ~ 85° C(无结冰/无结霜) |
| 电源规格 | 电压 | DC24V |
| 功耗 | 4.0W 以下 |
| 通訊接口 | 接口類型 | D-SUB9, RJ45 |
| 類比控制 | 0 ~ 5V 或4 ~ 20 mA |
| 數位控制 | RS-485或RS-232 |
| 通訊輸出 | 接口類型 | D-SUB9或RJ45 |
| 通訊速率 | 9600, 38400, 115200(原廠值) |
| 通訊協議 | Modbus-RTU |
| 設備位置 | 1(原廠值)~99 |
| 接頭類型 | 不附外接接头(标准型) ;快插: Ø8mm; 卡套: 6mm, 8mm, 1/8", 1/4"; VCR1/4" |
| 氣體接觸材質 | 316L不锈钢、氟橡胶、二氧化矽(硅) |
| 主體材質 | 底座:316L不锈钢 ; 外壳:铝合金 |
| 密封材質 | FKM氟橡膠 |
| 重量 | 0.95 kg |