| 流量大小 L/min | 10, 20, 50, 100, 200, 500 (sccm); 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 (slm) |
| 介質要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
| 测量气体 | 空气、氮气、氧气、二氧化碳、氦气、氢气、 甲烷、氩气、硅烷、氨气、一氧化二氮、三氯化硼、氯气 |
| 流量表示 | 精度(F.S.) | ±0.3% F.S. (≤30%F.S. ); ±1.0% S.P. ( > 30%F.S. ) |
| 重複精度 | ±0.2% F.S.以下 |
| 解析度 | 0.01sccm ≤ 100sccm;1sccm > 100sccm |
| 量程比 | 50:1 |
| 最大耐压 | 10 bar |
| 泄漏率 | 氟橡胶密封 : 4×10-10 Pa m3/s He 以下;全金属密封 : 1×10-12 Pa m3/s He 以下 |
| 响应时间 | 流量计 10ms 以下;控制器 1s 以下 |
| 启动时间 | 1s 以下 |
| 使用條件 | 工作溫度 | 0 ~ 50℃(无结冰/无结霜) |
| 工作湿度 | 10% ~ 90%RH以下 |
| 工作压力 | 流量计 : 10bar;控制器 : 最大6bar (可订制) |
| 儲存溫度 | -20 ~ 85° C(无结冰/无结霜) |
| 电源规格 | 电压 | DC 24 V (通过侧面M8接头) | DC 24 V (通過頂部DB9M接头) | DC 24 V (通過側面M8接头) |
| 功耗 | 2.7W 以下 |
| 电器参数 | 頂部接口類型 | RJ45双网孔(带指示灯) | DB9M | DB9F |
| 側面接口類型 | M8 航空接头 | RJ45雙網孔 (無指示燈 ) | M8 航空接头 |
| 显示萤幕 | 位於頂部 | 無 | 無 |
| 通訊方式 | EtherCAT | RS-485, 0 ~ 5 V, 4 ~ 20 mV | Profibus DP |
| 通讯输出 | Profibus DP | 無 | 無 | 通过顶部DB9F介面; 设备位址为1(预设)~ 255, 可通过顶部旋钮修改; 最高12M自适应波特率 |
| EtherCAT | 透过顶部RJ45介面进行通讯; 设备位址为1(预设) ~ 999, 可透过上位机或指令修改
| 無 | 無 |
| RS-485 | 無 | 通过顶部DB9M介面或侧面RJ45进行通讯; Modbus-RTU协议、MKS协议可选; 设备位址为1(预设) ~ 99, 通讯速率支援9600, 19200(预设), 38400及其他, 可通过顶部旋钮修改
| 有 |
| 类比输出 | 0 ~ 5 V | 無 | 透过顶部DB9M介面进行通讯(订购时选择) | 無 |
| 4 ~ 20 mA | 無 | 透过顶部DB9M介面进行通讯(订购时选择) | 無 |
| 接头类型 | 卡套: 1/4", 1/2"; VCR1/4", VCR1/2" |
| 气体接触材质 | 氟矽橡胶密封:316L不锈钢、氟橡胶、二氧化矽(硅);全金属密封:316L不锈钢 |
| 主体材质 | 底座:316L不銹鋼 ; 外殼:鋁合金 |
| 密封材质 | 底座:316L不锈钢 ; 外壳:铝合金 |
| 重量 | 流量计 : 0.8kg;控制器: 0.85 ~ 2.8kg |